而ASML采用的则是一种激光干涉仪，精度非常高，有着位移测量的能力，可以实现出纳米级的同步运动，非常精密，这样的技术就是美国也没有办法做到 。
可见光刻机的建造难度极大，而其的建造，也代表着现如今最完整的高尖端工业体系，代表的是一个国家真正的科技力量，和真正的工业实力，因此是不容小觑的 。
【光刻机哪个国家能造 高端光刻机只有荷兰能制作吗】 这需要时间的沉淀，相信我国能够尽快完成28nm级光刻机，尽早做到自主芯片量产，再突破更为精细的光刻机 。
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